氦质谱检漏仪故障与处理

定位方法

采用喷吹法对各密封部位的气密性进行检测，因检漏仪内部结构紧凑，各密封结构间的距离很近，检测时定位难度较大。光无源器件有光纤连接器、光开关、光衰减器、光纤耦合器、波分复用器、光调制器、光滤波器、光隔离器、光环行器等。经摸索，在检测时采用以下技巧，可提高定位的能力：①查漏前，先将分子泵风扇的电源断开，避免风扇将氦源吹散至各个密封环节，造成定位不准确。②喷吹时，要严格控制氦源的流量，尽量采用喷枪咀流量小的喷枪，提高定位的能力。③仪器的反应时间小于1 s，所以在一个部位喷吹的时间约3 s，再等待约3 s 后观测信号有无变化。

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氦质谱检漏仪光无源器件检漏

光无源器件是不含光能源的光能器件的总称。氦质谱检漏的应用氦质谱检漏常用的操作方法板式换热器的体积及换热面积较大，如果单依靠氦质谱检漏仪抽取真空，其不能满足检漏口真空度的要求，这样需要另接抽真空机组。光无源器件在光路中都要消耗能量，插入损耗是其主要性能指标。光无源器件有光纤连接器、光开关、光衰减器、光纤耦合器、波分复用器、光调制器、光滤波器、光隔离器、光环行器等。它们在光路中分别实现连接、能量衰减、反向隔离、分路或合路、信号调制、滤波等功能。本文主要介绍氦质谱检漏仪在无源器件中的检漏应用。

光无源器件是不含光能源的光功能器件的总称。漏孔距离质谱室的距离检漏仪反应时间也不同，所以喷氦气应先从靠近检漏仪的一侧开始由近至远进行。光无源器件在光路中都要消耗能量，插入损耗是其主要性能指标。光无源器件有光纤连接器、光开关、光衰减器、光纤耦合器、波分复用器、光调制器、光滤波器、光隔离器、光环行器等。它们在光路中分别实现连接、能量衰减、反向隔离、分路或合路、信号调制、滤波等功能。本文主要介绍氦质谱检漏仪在无源器件中的检漏应用。

无源器件检漏原因：光无源器件是光纤通信设备的重要组成部分，也是其它光纤应用领域不可缺少的元器件。86×10-5Pa·s，1L液氦气化为标准状态下的氦气体积为700L。具有高回波损耗、低插入损耗、高可靠性等特点。光无源器件对密封性的要求极高，如果存在泄漏会影响其使用性能和精度，光通信行业的漏率标准是小于 5×10-8  mbar.l/s，因此需要进行泄漏检测。氦质谱检漏法利用氦气作为示踪气体可准确定位，定量漏点，替代传统泡沫检漏和压差检漏，目前已广泛应用于光无源器件的检漏。

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氦质谱检漏的成本控制

氦气的使用控制

板翅式换热器的体积大，焊缝长度大，氦质谱检测时，需要大量的氦气。工业使用的高纯氦气，其成本较高，一瓶达几千元，如果使用高纯氦直接检测其花费的成本大。(4)在空气环境中含量尽可能少且组分基本恒定的气体，满足检漏灵敏度方面的要求，减少本底干扰检测的准确性。在进行吸入法和钟罩法时，采用氦气与氮气的混合气进行检测，能使氦气的使用成本下降70%-80%。

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抽真空管道口的控制

对一通道进行抽真空操作时，如果对进口和出口同时抽，比对单一口进行抽取时，节省时间达60%-75%。减少了抽取时间，降低了经济成本。

结束语

正确的选择检漏方法、检漏口真空度的大小、氦气的使用、工件干湿度的控制、抽真空的方式，不仅能够获得可靠的检测数据，而且能够大大降低生产检测成本，氦质谱检漏在板翅式换热器的今后的生产具有重要意义，换热器的性能指标有了量化的考评，对提升板翅式换热器的产品质量具有推动性作用